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专利
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一种在钇掺杂氧化锆衬底上制备立方结构氧化铟单晶薄膜的方法
发布时间:2019-04-15
点击次数:
所属单位:
物理学院
申请专利人:
栾彩娜
专利类型:
发明
申请号:
201010141341.2
发明人数:
2
是否职务专利:
否
申请日期:
2010-04-08
公开日期:
2011-06-01
授权日期:
2011-06-01
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一种在氧化镁衬底上制备单斜晶型氧化镓单晶薄膜的方法
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