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一种正钛酸锌单晶薄膜及其制备方法
发布时间：2021-10-01
点击次数：
专利名称：
一种正钛酸锌单晶薄膜及其制备方法
所属单位：
集成电路学院
专利类型：
发明
申请号：
202110061885.6
发明人数：
2
是否职务专利：
否
申请日期：
2021-01-18
公开日期：
2022-08-09
授权日期：
2022-08-09
发布时间：
2021-10-01
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