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彭燕

教授(特聘)

性别:女

所在单位:新一代半导体材料研究院

入职时间:2011-08

所属院系: 晶体材料研究院

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Micropipes in SiC Single Crystal Observed by Molten KOH Etching

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所属单位:新一代半导体材料研究院

发表刊物:MATERIALS

关键字:KOH etching;Raman;SiC;classification of etch pits;micropipes

第一作者:王鹤静

论文编号:18C6ADB4AA254E6F8230FBDB05D67A1D

期号:19

字数:5000

是否译文:

发表时间:2021-10

发布时间:2022-10-29

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