性别：女
在职信息：在职
所在单位：晶体材料研究院
入职时间：2011-08-16
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所属单位：新一代半导体材料研究院
发表刊物：Materials
关键字：KOH etching;Raman;SiC;classification of etch pits;micropipes
第一作者：王鹤静
论文编号：18C6ADB4AA254E6F8230FBDB05D67A1D
期号：19
字数：5000
是否译文：否
发表时间：2021-10-01
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