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论文成果
Significant Reliability Improvement by Inducing Dual Atomic-Thin Titanium Intercalation Layers in Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 Films
  • 所属单位：
    信息科学与工程学院
  • 发表刊物：
    IEEE Electron Device Letters
  • 第一作者：
    台路
  • 论文编号：
    070A75DB4BDD4252BB1C14460AEFBD1C
  • 期号：
    44（5）
  • 页面范围：
    1
  • 字数：
    3
  • 是否译文：
    否
  • 发表时间：
    2023-05-01

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