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Extremely Sensitive Dependence of SnOx Film Properties on Sputtering Power

发布时间:2022-11-17
点击次数:
所属单位:
集成电路学院
发表刊物:
Scientific Reports
第一作者:
李云鹏
论文编号:
lw-180404
卷号:
6
期号:
1
页面范围:
36183
字数:
6000
是否译文:
发表时间:
2016-11-08