Extremely Sensitive Dependence of SnOx Film Properties on Sputtering Power
发布时间:2022-11-17
点击次数:
- 所属单位:
- 集成电路学院
- 发表刊物:
- Scientific Reports
- 第一作者:
- 李云鹏
- 论文编号:
- lw-180404
- 卷号:
- 6
- 期号:
- 1
- 页面范围:
- 36183
- 字数:
- 6000
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2016-11-08