山东大学教师主页徐庆君 A systematic study of silicon nanowires array fabricated through metal-assisted chemical etching 中文主页

A systematic study of silicon nanowires array fabricated through metal-assisted chemical etching: 发布时间：2024-12-20 | 点击次数：

所属单位：新一代半导体材料研究院

发表刊物：EPJ Applied Physics

第一作者：Zhang, Shiying

论文编号：D58755965997422B84F80300A9C71B3F

卷号：92

期号：3

字数：3000

是否译文：否

发表时间：2020-12

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