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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林大学
学历：研究生(博士后)
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：信息科学与工程学院
入职时间：2019-07-01
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Comprehensive Analysis of Oxidant Effects During ALD Process of Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Thin Films
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所属单位：信息科学与工程学院
论文名称：Comprehensive Analysis of Oxidant Effects During ALD Process of Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Thin Films
发表刊物：IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY
第一作者：李晓鹏
论文编号：1934548234689994754
字数：3
是否译文：否
发表时间：2025-01
发布时间：2025-10-02