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所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：钟宇

项目来源单位：2022年国自然项目

项目性质：纵向

项目级别：国家级

项目编号：EB4FF9EB1F3D3C66E053BE07C2CA925B

立项时间：2022-09-07

计划完成时间：2025-12-31

结项日期：2025-12-31

开始日期：2023-01-01

项目批准号：62204142