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所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：钟宇

项目性质：纵向

项目级别：省、部委级

项目编号：EB86630DF3B90BCBE053BE07C2CA2C2B

立项时间：2022-03-30

计划完成时间：2025-03-31

结项日期：2025-03-31

开始日期：2022-04-01

项目批准号：2022HWYQ-019