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所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：韩吉胜

项目来源单位：2022年山东省重点研发计划（重大科技创新工程）

项目性质：纵向

项目级别：省、部委级

项目编号：E03790E5561435E9E053BE07C2CAD17B

立项时间：2022-02-01

计划完成时间：2025-02-28

结项日期：2025-02-28

开始日期：2022-02-01

项目批准号：2022CXGC010103-1