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所属单位：新一代半导体材料研究院

论文名称：Investigation of small-angle SiC ICP etching assisted by optical emission spectroscopy diagnostics

发表刊物：VACUUM

第一作者：苑登文

全部作者：徐现刚,徐明升,韩吉胜

论文编号：88D6EC2C577645B5A837E2C70B49E06D

期号：246

页面范围：115050

字数：4

是否译文：否

发表时间：2025-12

发布时间：2026-01-21