• 其他栏目

    钟宇

    • 副研究员
    • 性别：女
    • 毕业院校：德国拜罗伊特大学
    • 学历：博士研究生毕业
    • 学位：博士生
    • 在职信息：在职
    • 所在单位：新一代半导体材料集成攻关大平台
    • 入职时间： 2021-01-11
    • 电子邮箱：yu.zhong@sdu.edu.cn

    访问量：

    开通时间：..

    最后更新时间：..

    当前位置 中文主页 >> 科学研究 >> 专利
    一种碳化硅器件双层金属的刻蚀方法

    点击次数：

    所属单位：新一代半导体材料研究院

    专利类型：发明

    申请号：202311623560.8

    发明人数：3

    是否职务专利：否

    申请日期：2023-11-30

    公开日期：2024-08-02

    授权日期：2024-08-02


    版权所有   ©山东大学　地址：中国山东省济南市山大南路27号　邮编：250100　
    查号台：（86）-0531-88395114
    值班电话：（86）-0531-88364731　建设维护：山东大学信息化工作办公室 　　
  • 登录 | 山东大学