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论文成果
Design and evaluation of a highly robust MEMS Pirani vacuum gauge based on porous silicon thermal insulation layer
  • 所属单位：
    信息科学与工程学院
  • 第一作者：
    张子超
  • 论文编号：
    9407D58A00D443D5BD50B937EC5D983A
  • 字数：
    1
  • 是否译文：
    否
  • 发表时间：
    2022-08-21

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