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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：北京邮电大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
在职信息：在职
所在单位：信息科学与工程学院
入职时间：2018-07-25
学科：电子科学与技术其他专业
物理电子学
办公地点：山东大学青岛校区N5楼223室
中国山东省青岛市即墨滨海路72号，266237
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论文成果
当前位置： 山东大学MEMS传感... >> 科学研究 >> 论文成果Design and evaluation of a highly robust MEMS Pirani vacuum gauge based on porous silicon thermal insulation layer
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所属单位：信息科学与工程学院
论文名称：Design and evaluation of a highly robust MEMS Pirani vacuum gauge based on porous silicon thermal insulation layer
发表刊物：2022 IEEE International Flexible Electronics Technology Conference (IFETC)
第一作者：张子超
论文编号：9407D58A00D443D5BD50B937EC5D983A
字数：1
是否译文：否
发表时间：2022-08
发布时间：2023-10-08