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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
毕业院校:北京邮电大学
学历:研究生(博士)毕业
学位:工学博士学位
在职信息:在职
所在单位:信息科学与工程学院
入职时间:2018-07-25
学科:电子科学与技术其他专业
物理电子学
办公地点:山东大学青岛校区N5楼223室
中国山东省青岛市即墨滨海路72号,266237
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专利
当前位置: 山东大学MEMS传感... >> 科学研究 >> 专利Micro-machined optical pressure sensors
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专利名称:Micro-machined optical pressure sensors
专利说明:A micro-machined optical pressure sensor, comprising: a diaphragm configured to deform when a force is applied thereto; and a sensing micro-ring spaced apart from the diaphragm by a gap, the gap being variable depending on the force applied on the diaphra
专利类型:PCT或外国申请
专利状态:授权专利
授权号:US9823150B2
是否职务专利:否
发布时间:2020-06-28
