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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：北京邮电大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
在职信息：在职
所在单位：信息科学与工程学院
入职时间：2018-07-25
学科：电子科学与技术其他专业
物理电子学
办公地点：山东大学青岛校区N5楼223室
中国山东省青岛市即墨滨海路72号，266237
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专利
当前位置： 山东大学MEMS传感... >> 科学研究 >> 专利Optical waveguide structure and optical gas sensor, and methods of fabrication thereof
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专利名称：Optical waveguide structure and optical gas sensor, and methods of fabrication thereof
专利说明：There is provided an optical waveguide structure, including a substrate, an insulating layer disposed on the substrate whereby the insulating layer includes an air slot formed therein, a first material layer suspended over the air slot whereby the first m
专利类型：PCT或外国申请
专利状态：授权专利
授权号：US10215692B2
是否职务专利：否
发布时间：2020-06-28