返回山东大学MEMS传感器
专利
Chemical sensor and method of forming the same
  • 专利说明：
    Various embodiments may relate a chemical sensor. The chemical sensor may include a substrate including a first sealed (or isolated) cavity and a second sealed (or isolated) cavity separate from the first sealed (or isolated) cavity. The chemical sensor m
  • 专利类型：
    PCT或外国申请
  • 专利状态：
    待批专利
  • 申请号：
    20200278289
  • 是否职务专利：
    否
  • 申请日期：
    2018-10-08
  • 公开日期：
    2020-09-03

上一条：一种基于MEMS的集成式红外气体传感器

下一条：Sensor arrangements and methods of operating a sensor arrangement

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