返回山东大学MEMS传感器
专利
一种基于MEMS的集成式红外气体传感器
发布时间：2021-09-25
  • 所属单位：
    信息科学与工程学院
  • 专利类型：
    发明
  • 申请号：
    201910523909.8
  • 发明人数：
    1
  • 是否职务专利：
    否
  • 公开日期：
    2021-03-23
  • 授权日期：
    2021-03-23
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