专利
一种基于MEMS的集成式红外气体传感器
  • 所属单位:
    信息科学与工程学院
  • 专利类型:
    发明
  • 申请号:
    201910523909.8
  • 发明人数:
    1
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:
    2021-03-23
  • 授权日期:
    2021-03-23

上一条:基于亚波长结构的宽带滤波型片上的光谱或频谱分析系统

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