一种具有阶梯屏蔽环的垂直型Ⅲ族氮化物功率半导体器件及其制备方法
点击次数：
所属单位：集成电路学院
专利类型：发明
申请号：202111184629.2
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2021-10-12
公开日期：2023-10-20
授权日期：2023-10-20
公开日期：2023-10-20
申请日期：2021-10-12
授权日期：2023-10-20
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：香港科技大学
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
入职时间：2019-04-26
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：山东大学软件园校区3-B栋302室
一种具有阶梯屏蔽环的垂直型Ⅲ族氮化物功率半导体器件及其制备方法
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所属单位：集成电路学院
专利类型：发明
申请号：202111184629.2
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2021-10-12
公开日期：2023-10-20
授权日期：2023-10-20
公开日期：2023-10-20
申请日期：2021-10-12
授权日期：2023-10-20