专利
一种氮化镓HEMT器件及其制备方法
发布时间：2025-01-04
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所属单位：
新一代半导体材料研究院
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专利类型：
发明
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申请号：
202410088982.8
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发明人数：
4
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是否职务专利：
否
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申请日期：
2024-01-23
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公开日期：
2024-09-06
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授权日期：
2024-09-06
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