专利
一种SiC器件欧姆接触及其制备方法和应用
发布时间：2025-02-21
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所属单位：
新一代半导体材料研究院
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专利类型：
发明
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申请号：
202310696789.8
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发明人数：
8
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是否职务专利：
否
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申请日期：
2023-06-13
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公开日期：
2025-02-11
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授权日期：
2025-02-11
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