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Degree:Doctoral Degree in Science
Status:Employed
School/Department:集成电路学院

Hua Yu Feng

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Gender:Male

Education Level:With Certificate of Graduation for Doctorate Study

Alma Mater:马德里自治大学

Research Focus

Current position: Home / Result
氧化镓外延、光电器件、功率器件

本方向主要从事宽禁带半导体材料氧化镓及相关材料的外延生长、光电和功率器件制备研究。目前学院和课题组有Mist-CVD、PLD等外延设备,MOCVD设备将于2024年到位;可以实现2-4英寸同质、异质氧化镓外延生长和掺杂;进一步,基于氧化镓外延薄膜可以制备氧化镓日盲光电探测器、功率器件及电路系统。