所属单位：新一代半导体材料研究院

论文名称：Growth of 2-inch diamond films on 4H–SiC substrate by microwave plasma CVD for enhanced thermal performance

发表刊物：VACUUM

第一作者：胡秀飞

论文编号：1637725468371140609

卷号：211

字数：3000

是否译文：否

发表时间：2023-05