标题:
高质量低成本8 英寸碳化硅材料与器件应用研究
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项目名称:
高质量低成本8 英寸碳化硅材料与器件应用研究
所属单位:
新一代半导体材料研究院
负责人姓名:
徐现刚
项目性质:
纵向
项目级别:
省、部委级
项目编号:
F365BC17C58D28FBE053BE07C2CAC7F1
项目批准号:
2022ZLGX02
立项时间:
2022-11-01
计划完成时间:
2025-12-31
结项日期:
2025-12-31
开始日期:
2022-11-01
发布时间:
2024-04-17