标题：
碳化硅晶体生长非线性模拟与控制系统
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项目名称：
碳化硅晶体生长非线性模拟与控制系统
所属单位：
晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
负责人姓名：
彭燕
项目来源单位：
山东省科学院—2014年山东省自主创新专项
项目性质：
纵向
项目级别：
省、部委级
项目参与人员：
彭燕,陈秀芳,胡小波
项目编号：
kyxm-58724
项目批准号：
2014ZZCX04215
立项时间：
2014-01-01
计划完成时间：
2017-12-31
结项日期：
2017-12-31
开始日期：
2014-01-01
发布时间：
2019-04-18
职称：教授
所在单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）