标题：
Micropipes in SiC Single Crystal Observed by Molten KOH Etching
点击次数：
所属单位：
新一代半导体材料研究院
发表刊物：
Materials
关键字：
KOH etching;Raman;SiC;classification of etch pits;micropipes
第一作者：
王鹤静
论文编号：
18C6ADB4AA254E6F8230FBDB05D67A1D
期号：
19
字数：
5000
是否译文：
否
发表时间：
2021-10-01
发表时间：
2021-10-01
职称：教授
所在单位：晶体材料研究院