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所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：彭燕

项目来源单位：济南金刚石科技有限公司--2019年山东省重点研发计划（重大科技创新工程竞争择优类）

项目性质：纵向

项目级别：省、部委级

项目参与人员：彭燕,徐现刚,徐明升,胡小波

项目编号：A1680B17E6393441E053BE07C2CA1E7C

项目批准号：2019JZZY010210-1

立项时间：2019-01-01

计划完成时间：2021-12-31

结项日期：2021-12-31

开始日期：2019-01-01

发布时间：2020-03-26