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所属单位：新一代半导体材料集成攻关大平台

负责人姓名：徐现刚

研究类别：研究与发展成果应用

项目性质：横向

项目参与人员：胡小波,陈秀芳,徐明升,谢雪健,刘铎,刘鑫彤

项目编号：A3733C2A75E9153AE053BE07C2CA99B9

立项时间：2019-09-01

计划完成时间：2022-08-30

结项日期：2022-08-30

开始日期：2019-09-01