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所属单位：新一代半导体材料集成攻关大平台

负责人姓名：徐现刚

项目来源单位：工研院协同创新中心

研究类别：研究与发展成果应用

项目性质：纵向

项目级别：地(市、州)级

项目参与人员：胡小波,陈秀芳,徐明升,谢雪健,刘铎,刘鑫彤

项目编号：A9D03988BFBA6387E053BE07C2CAAC38

立项时间：2019-09-01

计划完成时间：2022-08-30

结项日期：2022-08-30

开始日期：2019-09-01

项目批准号：OX2X2019012