性别：女
在职信息：在职
所在单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
入职时间：2011-08-16
所属院系： 晶体材料研究院
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所属单位：新一代半导体材料研究院
发表刊物：《材料导报》
关键字：激光切割;化学机械抛光;HTHP金刚石;MPCVD金刚石薄膜
第一作者：段鹏
论文编号：1478202486018805762
卷号：35
期号：04
页面范围：4034-4037+4041
字数：3000
是否译文：否
发表时间：2021-02
发布时间：2022-10-28
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