个人信息 Personal information
博士生导师
硕士生导师
在职信息：在职
所在单位：控制科学与工程学院
入职时间：2004-12-20
所属院系：
控制科学与工程学院
发布时间：2023-09-07 点击次数：
专利名称：一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置
所属单位：控制科学与工程学院
专利类型：发明
申请号：202210652114.9
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2022-06-10
公开日期：2024-05-03
授权日期：2024-05-03
发布时间：2023-09-07