标题:
高质量6英寸SiC单晶生长与衬底加工技术研究
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项目名称:
高质量6英寸SiC单晶生长与衬底加工技术研究
所属单位:
晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
负责人姓名:
胡小波
项目来源单位:
国网山东省电力公司电力科学研究院
项目性质:
横向
项目参与人员:
胡小波,徐现刚
项目编号:
kyxm-61699
项目批准号:
11261602
立项时间:
2016-01-01
计划完成时间:
2018-12-31
结项日期:
2018-12-31
开始日期:
2016-01-01
发布时间:
2019-04-18