标题:
大尺寸半导体SiC单晶衬底材料
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项目名称:
大尺寸半导体SiC单晶衬底材料
所属单位:
晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
负责人姓名:
徐现刚
项目来源单位:
科技部 863
项目性质:
纵向
项目级别:
国家级
项目参与人员:
董春明,徐现刚,胡小波,蒋民华,刘宏
项目编号:
kyxm-28573
项目批准号:
01AA311080
立项时间:
2002-01-01
计划完成时间:
2004-06-30
结项日期:
2004-06-30
开始日期:
2002-01-01
发布时间:
2019-04-18