标题：
Micropipes in SiC Single Crystal Observed by Molten KOH Etching
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所属单位：
新一代半导体材料研究院
论文名称：
Micropipes in SiC Single Crystal Observed by Molten KOH Etching
发表刊物：
MATERIALS
第一作者：
王鹤静
论文编号：
47B22E7CACAC4635915F73FF7E3E6857
卷号：
14
期号：
19
字数：
5000
是否译文：
否
发表时间：
2021-10
发布时间：
2022-10-28
职称：教授
所在单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）