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  • 杨再兴 ( 教授 )

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一种表面活性剂辅助气相生长小直径、高性能 III-V 族半导体纳米线的方法
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专利名称:一种表面活性剂辅助气相生长小直径、高性能 III-V 族半导体纳米线的方法
所属单位:集成电路学院
专利类型:发明
申请号:201910400878.7
发明人数:1
是否职务专利:否
公开日期:2021-08-13
授权日期:2021-08-13
发布时间:2021-09-28
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