闫鹏教授
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[41] 一种基于折叠板簧的超长行程快刀伺服器
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[42] 一种可拆卸柔性板簧的超长行程快刀伺服器
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[43] 一种多靶材真空镀膜装置及镀膜方法
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[44] 一种高精度直写式真空镀膜设备及方法
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[45] 一种针对宏/微运动平台的视觉检测装置与方法
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[46] 输出恒力可调的零刚度柔性微夹钳
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[47] 基于激光尺的检测方法的XYΘ微定位平台设计
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[48] 一种凸轮张紧刚度可调快刀伺服系统结构设计
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[49] 一种梳齿式立体车库搬运小车及方法
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[50] 一种三维精密压电传感装置
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[51] 一种动态频率实时可调的微位移运动平台
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[52] 面向微纳操控的三自由度位移测量装置和方法
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[53] 一种二自由度微纳定位平台及应用
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[54] 一种二自由度尺蠖式微纳定位平台
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[55] 一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构
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[56] 一种并联压电三维微伺服平台的结构
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[57] 面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置
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[58] 基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台设计方法
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[59] 一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构及使用方法
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[60] 一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构