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[61] 一种自主适应变频压电式能量收集器结构
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[62] 一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法
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[63] 一种对称直驱并联运动解耦高精度伺服平台
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[64] 一种反对称直驱并联运动解耦高精度伺服平台
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[65] 一种三自由度压电驱动微纳定位平台
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[66] 一种四驱动三自由度的板簧型微纳操作平台
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[67] 一种真空镀膜系统的样品室结构
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[68] 输出恒力可调的零刚度柔性微夹钳
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[69] 一种多靶材真空镀膜装置及镀膜方法
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[70] 直写式真空镀膜设备中精密装置的结构设计与装配
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[71] 面向旋转机械的振动信号特征提取方法、监测方法及装置
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[72] 一种面向微纳定位平台的剩余使用寿命预测方法
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[73] 一种面向时变工况的旋转机械运行稳定性在线监测方法
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[74] 一种针对宏/微运动平台的视觉检测装置与方法
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[75] 一种自主适应变频压电式能量收集器结构
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[76] 基于重力势能驱动的“8”字无碳小车
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[77] 一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构
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[78] 一种并联压电三维微伺服平台的结构
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[79] 面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置
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[80] 基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台