标题：
Influence of Different Heater Structures on the Temperature Field of AlN Crystal Growth by Resistance Heating
点击次数：
所属单位：
新一代半导体材料研究院
论文名称：
Influence of Different Heater Structures on the Temperature Field of AlN Crystal Growth by Resistance Heating
发表刊物：
MATERIALS
第一作者：
俞瑞仙
论文编号：
A4B0D7D429914708972A77CA022C1D5A
期号：
14
页面范围：
7441
字数：
3000
是否译文：
否
发表时间：
2021-12
发布时间：
2022-05-15
职称：教授
所在单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）