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胡小波
职称:教授
所在单位:晶体材料研究院
教师拼音名称:
huxiaobo
入职时间:
1997-09-01
所在单位:
晶体材料研究院
性别:
男
在职信息:
在职
是否在职:
1
当前位置:
中文主页
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科学研究
>>
专利
标题:
一种大直径SiC单晶生长装置及生长方法
点击次数:
所属单位:
新一代半导体材料研究院
专利类型:
发明
申请号:
202210227495.6
发明人数:
5
是否职务专利:
否
申请日期:
2022-03-08
公开日期:
2023-07-07
授权日期:
2023-07-07
公开日期:
2023-07-07
申请日期:
2022-03-08
授权日期:
2023-07-07
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