胡小波
  • 职称:教授
  • 所在单位:晶体材料研究院
教师拼音名称:huxiaobo
入职时间:1997-09-01
所在单位:晶体材料研究院
性别:
在职信息:在职
是否在职:1

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利
标题:
一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
点击次数:
所属单位:
新一代半导体材料研究院
专利类型:
发明
申请号:
202110855731.4
发明人数:
10
是否职务专利:
申请日期:
2021-07-28
公开日期:
2024-03-22
授权日期:
2024-03-22
公开日期:
2024-03-22
申请日期:
2021-07-28
授权日期:
2024-03-22
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