李元 (副教授)

副教授 博士生导师 硕士生导师

性别：男

毕业院校：山东大学

学历：研究生(博士)毕业

学位：博士生

所在单位：信息科学与工程学院

入职时间：2017-12

所属院系： 信息科学与工程学院

学科：微电子学与固体电子学

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垂直环沟道场效应晶体管原子层沉积制备高质量氧化物薄膜的多尺度研究

发布时间：2025-09-29   点击数：

项目名称：垂直环沟道场效应晶体管原子层沉积制备高质量氧化物薄膜的多尺度研究

所属单位：信息科学与工程学院

负责人姓名：李元

项目性质：纵向

项目级别：国家级

项目编号：3FD06C18A191A8B1E0635C00A8C075BE

项目批准号：52575661

立项时间：2025-08-27

计划完成时间：2029-12-31

结项日期：2029-12-31

开始日期：2026-01-01

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